«الکترونیک پلاسما: مورد استفاده در ساخت ابزارهای میکروالکترونیکی» ترجمهٔ دکتر علیرضا گنجوئی، مهندس اعظم میرزائی و مهندس صغری صدر (دانشگاه تحصیلات تکمیلی صنعتی و فناوری پیشرفته) از کتاب Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication نوشتهٔ Toshiaki Makabe و Zoran Lj. Petrović (دانشگاه کیو) است.
به نوشتهٔ مؤلفان در پیشگفتار، در سه دههٔ گذشته کاربردهای پلاسمای کم‌دما از روشنایی مقدماتی تا ساخت شبکه‌های میکروالکترونیک و مواد جدید گسترش یافته است؛ امروزه پلاسماهای با بسامد رادیویی در بازهٔ ۱۰⁵ تا ۱۰⁹ هرتز برای پردازش مواد فلزی، نیمه‌هادی و دی‌الکتریک در ساخت مدارهای مجتمع با ابعاد فوق‌العاده بزرگ (ULSI) و رسوب‌گذاری و اصلاح فیلم‌های نازک به کار می‌روند. کتاب بر ائتلاف علمی میان فیزیک اتمی و ملکولی، فیزیک سطح، نظریهٔ انتقال بولتزمن، الکترومغناطیس و علوم محاسباتی تأکید دارد و بر پایهٔ درس‌های تحصیلات تکمیلی دانشگاه کیو تدوین شده است. تمرین‌ها و مسائل موضوعی هر فصل، آن را برای خودآموزی نیز مناسب می‌کند.
سرفصل‌ها: مقدمه (پلاسما و دسته‌بندی آن، کاربرد پلاسمای کم‌دما، همجوشی علمی)؛ توصیف پدیده‌شناسی انتقال ذرهٔ باردار (انتقال در فضای حقیقی و فضای فاز، توزیع سرعت الکترونی و یونی، تعادل حرارتی، توزیع بولتزمن و ماکسول)؛ مشخصه‌های ماکروسکوپی پلاسما (شبه‌خنثایی، جدایی بار، حفاظ دبای، کاوشگر فلزی، پخش ذره، معیار غلاف بوهم)؛ فرآیندهای بنیادی در فاز گاز و روی سطح (ذرات و امواج، سطح مقطع‌ها، نظریهٔ پراکندگی کلاسیکی و کوانتومی، برخوردهای الکترون–اتم و الکترون–مولکول، یونش، اتصال الکترونی، بازترکیب، فوتون‌ها در گازهای یونیزه، گسیل الکترون و یون از سطوح، واجذبی)؛ معادلهٔ بولتزمن و معادلات انتقال؛ خواص عمومی انتقال ذرهٔ باردار در گازها (میدان‌های DC و بسامد رادیویی)؛ و مدل‌سازی پلاسماهای غیرتعادلی کم‌دما (مدل‌های پیوسته، ذره‌ای، مونت‌کارلو و PIC/MCS، مدل‌های هیبریدی و مداری، معادلات ماکسول).
نقد و بررسی‌ها
هنوز بررسی‌ای ثبت نشده است.